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1. 工作压力:常压~50MPa,计量精度:±0.1 MPa;
2. 工作温度:室温~100℃,计量精度:±0.1℃;
3. 流量范围:0.005~80ml/h,计量精度:0.1% F.S;
4. 系统耐压:70 MPa;
5. 模型规格:光刻模型:45×45mm。
三、系统组成
微观驱替物模系统主要由注入系统、模型系统、计量系统、数据及图像采集处理系统四个部分组成。详见系统流程图
(1)注入系统由注入泵、中间容器、真空泵、环压泵等组成。可提供注入水/气体/化学剂等多重介质,用于注入模型本体。在设计流程时,要求整个流程,包括使用的管阀件死体积尽可能小。
(2)模型系统由高温高压可视模型、平射光源、恒温箱等组成。
(3)计量系统由测压传感器、温控仪、计量管和回压系统等组成。
(4)数据及图像采集处理系统包括高倍显微镜、彩色摄像头、图像采集卡、数码照相机、台式电脑、微观驱替数据及图像分析软件等。